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涂胶显影机

中道涂胶显影机

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  • C型架构产品满足中等量产需要 ,单位?槲芌obot设计 ,Coater/Developer/AD/HP/CP等单位灵活组合 ,可选辅助功效配件实现差别工艺生产需求 ,满足半导体前道/高端封装/MEMS/LED等差别工艺生产的客户
 
  C型架构产品满足中等量产需要 ,单位?槲芌obot设计 ,Coater/Developer/AD/HP/CP等单位灵活组合 ,可选辅助功效配件实现差别工艺生产需求 ,满足半导体前道/高端封装/MEMS/LED等差别工艺生产的客户需求。
 
  . 适用于6英寸 ,8英寸或12英寸产品。
 
  . 基材:硅晶圆 ,玻璃 ,蓝宝石片 ,砷化镓等(柔性基材需要特殊定制)。
 
  . 适用于Krf ,i-line ,etc产品生产。
 
  . 适用于Package ,PI ,SOD ,etc产品生产。
 
  . ?榛牡ノ槐阌谖。
 
  . 图形化的人机交互界面。
 
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